壓電驅動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的Z小步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學、通信等行業(yè)有廣泛應用。
壓電納米位移臺優(yōu)勢：
1、結構緊湊，高剛性。
2、高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)。
3、室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
4、壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命。
5、帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制。

壓電直線納米位移臺MF30-30A

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