判斷納米位移臺是否需要重新校準(zhǔn)，通?？梢詮囊韵聨讉€方面入手：
1. 定位精度出現(xiàn)下降
如果你發(fā)現(xiàn)以下現(xiàn)象，可能說明校準(zhǔn)已經(jīng)偏離標(biāo)準(zhǔn)：
位移臺移動到某一預(yù)設(shè)坐標(biāo)點后，實際位置偏差超出規(guī)格要求（比如超過納米級誤差容限）；
多次移動到同一點，重復(fù)定位的偏差變大；
掃描圖像出現(xiàn)明顯錯位或畸變，尤其在大范圍掃描或多次返回同一位置時。
2. 反饋位置與實際位置不符
當(dāng)使用閉環(huán)傳感器（如電容傳感器、光學(xué)編碼器）進行反饋控制時，如果控制軟件顯示的位置與顯微鏡、干涉儀等實際觀測位置不一致，說明可能需要重新校準(zhǔn)。
3. 環(huán)境或系統(tǒng)發(fā)生變化
下列情況發(fā)生后建議進行校準(zhǔn)：
位移臺長期未使用或經(jīng)過長時間運行；
系統(tǒng)經(jīng)歷過搬運、震動、溫度變化、潮濕等外界干擾；
更換了控制器、傳感器或樣品托盤；
固件或軟件升級之后，位移模型發(fā)生變化。
4. 系統(tǒng)自檢提示或誤差累積
有些控制系統(tǒng)（如使用數(shù)字信號處理器的控制器）會在初始化或運行中提供自檢誤差報告或校準(zhǔn)建議；
如果你運行定位路徑后，累計誤差隨路徑延長而變大，也可能是因為線性比例、偏移、非線性補償失效，需要重新標(biāo)定。
5. 定期維護計劃中規(guī)定的周期
高精度位移系統(tǒng)一般建議定期校準(zhǔn)（例如每半年或一年一次），尤其在對結(jié)果精度有嚴格要求的應(yīng)用場景（如納米定位、掃描成像、微納加工等）中更為重要。