長時間運行后判斷納米位移臺是否存在機械磨損，通常可從以下幾個維度進行檢測和分析：
一、性能變化檢測
定位重復(fù)精度降低
原點重復(fù)返回偏差增大；
同一目標(biāo)位置多次定位出現(xiàn)偏差，可能表明導(dǎo)軌或驅(qū)動機構(gòu)磨損。
最小步進分辨率變差
微小指令無法被精確執(zhí)行，或者存在不連續(xù)運動；
滑動/滾動部件存在微小松動或表面損傷。
運行噪音增大
運動過程中出現(xiàn)異常雜音或不規(guī)則摩擦聲；
反映滾珠絲杠、導(dǎo)軌或壓電執(zhí)行機構(gòu)存在磨耗或潤滑不足。
回程間隙變化
正向與反向運動間的位置偏差（backlash）增大；
表明機械連接部位松動或絲杠副/導(dǎo)軌副磨損。
二、振動與加速度分析
使用激光干涉儀或高分辨率加速度傳感器記錄運動過程中的微振動；
若頻譜中出現(xiàn)新頻率分量或共振頻率偏移，可能意味著結(jié)構(gòu)磨損或松動。
三、熱漂移與非線性誤差增大
長時間掃描后，發(fā)現(xiàn)漂移量隨運行時間明顯上升，尤其在恒定環(huán)境溫度下；
磨損導(dǎo)致摩擦特性變化，進而引起熱積累模式改變。
四、目視與顯微檢查（停機后）
關(guān)閉系統(tǒng)后，使用光學(xué)顯微鏡或掃描電鏡（如可拆卸部件）檢查以下部位：
滑軌表面是否有劃痕、壓痕；
軸承、導(dǎo)軌、滑塊是否有磨耗顆粒、潤滑干涸現(xiàn)象；
螺母與絲杠接觸處是否出現(xiàn)偏心或金屬粉末。
五、位移傳感器輸出異常分析
檢查閉環(huán)反饋中編碼器、干涉儀等輸出信號的線性度是否下降；
比如產(chǎn)生周期性波動，可能由驅(qū)動機構(gòu)周期性磨損導(dǎo)致。
六、校準(zhǔn)曲線偏移
使用標(biāo)準(zhǔn)位移樣本進行標(biāo)定，對比歷史校準(zhǔn)曲線；
若單位電壓對應(yīng)位移出現(xiàn)明顯偏移，說明機械/電氣系統(tǒng)某處性能變化。