可以的自主研發(fā)的壓電驅(qū)動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的步長。更具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點。具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。
壓電驅(qū)動納米位移臺產(chǎn)品優(yōu)勢
結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。
零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)。
室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命。
帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制。

 

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