傳統(tǒng)納米位移臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高，性能無(wú)法達(dá)到要求。而壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的步長(zhǎng)，正好解決了這一問題。目前壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)在科研市場(chǎng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。
壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)特點(diǎn)
具有運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。
壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)優(yōu)勢(shì)
1、結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。
2、室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
3、壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長(zhǎng)使用壽命。
4、帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制。

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