納米位移臺對環(huán)境振動非常敏感，防震設計是確保其高精度、高穩(wěn)定性運行的關鍵。常見的納米位移臺防震設計方法主要包括以下幾類：
減振隔離系統(tǒng)
使用彈簧、橡膠墊、空氣懸掛等減振元件，將納米位移臺與地面振動隔離開來。
空氣減振臺（氣浮臺）是實驗室中較常用的隔振方式，能有效隔絕低頻振動。
剛性支撐結構設計
位移臺本體采用高剛性材料和結構，減少自身因共振產生的振動放大。
結構設計時通過有限元分析（FEA）優(yōu)化形狀，避開易產生共振的頻率段。
主動振動控制
配備傳感器實時監(jiān)測振動信號，結合主動執(zhí)行器（如壓電執(zhí)行器）對抗振動干擾。
主動控制系統(tǒng)能有效補償低頻、中頻振動，提升穩(wěn)定性。
環(huán)境振動源管理
實驗室環(huán)境選址避免機械設備、交通噪聲等振動源附近。
使用專用防振地板或安裝阻尼地墊減少環(huán)境傳播的振動。
系統(tǒng)質量與阻尼匹配
通過增加系統(tǒng)質量和阻尼，降低振動的傳遞效率。
常用阻尼材料包括粘彈性材料、阻尼膠等。
機械結構的緊固與減小自由度
保證所有連接部件牢固緊固，避免松動引發(fā)共振。
限制多余自由度，減少不必要的運動和振動響應。