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分辨率高的長行程納米位移臺有哪幾種?

ML-92A與XYMF-133-100A均為長行程納米平移臺,具有分辨率高,行程大,帶有高精度及高分辨率的位置反饋,操作簡單,定位準,能在真空下使用等優(yōu)點,其中XYMF-133-100A平移臺可實現(xiàn)在XY二維空間上的準確定位,可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。

該納米位移臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。能夠步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。

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