超高真空光柵尺SMG26系列-微型光柵特點：

光柵尺體積小，結(jié)構(gòu)緊湊；適用于超高真空使用；良好的耐高溫性，高可達(dá)100°C；精度高，精度±3μm（20°C）；采用玻璃柵尺，膨脹系數(shù)小，讀數(shù)穩(wěn)定性良

好；分辨率高，配合TF15細(xì)分接頭，讀數(shù)分辨率可達(dá)4nm；安裝容許公差大（容許誤差±0.1mm）。

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